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Die MUEGGE GmbH ist ein weltweit führender Anbieter industrieller Mikrowelle und industrieller Plasmasysteme. Das Portfolio umfasst Mikrowellengeneratoren und – komponenten sowie Plasmasysteme für verschiedenste Anwendungen, wie beispielsweise industrielle Erwärmung und insbesondere plasmatechnologische Verfahren. Die vielfältigen Anwendungsbereiche für durch Mikrowelle angeregte Plasmen sind in der Halbleiterindustrie, im Bereich „Flat Panel“ / OLED, MEMS, in der Medizintechnik, der Umwelttechnologie sowie in weiteren industriellen Bereichen.

Die wichtigsten Produkte umfassen das komplette Spektrum der Mikrowellenkomponenten sowie mikrowellenbasierte Plasma-Applikatoren. Hier sind eine Remote Plasma Quelle für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und ein Plasma Array für das Beschichten von nahezu beliebig skalierbaren Flächen mit hoher Gleichmäßigkeit hervorzuheben.

Das Angebotsspektrum der MUEGGE GmbH reicht von der Beratung bei der Verfahrenstechnik über das Entwerfen von Anlagensystemen bis hin zu deren Konstruktion, Montage und Inbetriebnahme. Eine umfassende Kundenbetreuung steht dabei im Mittelpunkt.

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