Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.
Xenonhexafluorid ist eine der wenigen chemischen Verbindungen aus der Gruppe der Edelgasverbindungen. Es ist ein farbloser Feststoff. Die Verbindung ist quadratisch-bipyramidal (verzerrt oktaedrisch) aufgebaut.
Alle Xenonfluoride werden durch thermische oder photochemische Aktivierung von Xenon/Fluor-Gemischen hergestellt. Welches Produkt entsteht, hängt vom Stoffmengenverhältnis, sowie den Reaktionsbedingungen ab (Druck, Temperatur).
So kann Xenonhexafluorid durch langandauernde Erhitzung von Xenondifluorid XeF2 bei 300 °C und einem Druck von 6 MPa gewonnen werden.