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Dünne Schichten durch Deposition unter streifenden Einfall

Eine physikalische Deposition unter den Bedingungen eines schräg einfallenden Partikelflusses und begrenzter Adatom-Diffusion führt zu Schichten mit einer säulenartigen Mikrostruktur. Diese Säulen sind in Richtung der Partikelquelle orientiert. Eine zusätzliche Substratrotation kann genutzt werden, um diese Strukturen in unterschiedlicher Gestalt (senkrechte und geneigte Säulen, Zick-Zack-Strukturen, Schrauben, Spiralen) zu entwickeln. Mit der Deposition unter schrägem Partikeleinfall (GLAD) können poröse dünne Schichten von isolierenden, halbleitenden und metallischen Materialien konstruiert werden. In dieser Arbeit werden die physikalischen Grundlagen der GLAD-Technologie vorgestellt, die Herstellung von Mikro- und Nano-Struktruren unterschiedlichen Habitus auf nicht strukturierten und vorstrukturierten Substraten demonstriert und auf einige potentielle Anwendungen dieser neuen Depositionstechnologie hingewiesen.

Autoren:   Rauschenbach, Bernd; Platzig, Christian
Journal:   Vakuum in Forschung und Praxis
Band:   22
Ausgabe:   2
Jahrgang:   2010
Seiten:   14
DOI:   10.1002/vipr.201000411
Erscheinungsdatum:   01.04.2010
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