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Entwickelt für Forschungs- und Industrieanwendungen, die eine schnelle und zuverlässige Gasanalyse erfordern, bietet das Cirrus 3/Cirrus 3-XD eine kompakte, leistungsstarke und vielseitige Analyseplattform.
Aufbauend auf der bewährten Quadrupol-Massenspektrometrie-Technologie sind das Cirrus 3 und das Cirrus 3-XD sowohl im Desktop- als auch im 19"-Einschub-Format eine kompakte, robuste und platzsparende Lösung.
Mit einem beheizten Kapillareinlass und einer schnellen Messgeschwindigkeit (250 Punkte pro Sekunde), können Gaszusammensetzungen über einen weiten dynamischen Bereich (ppb bis Prozent) zuverlässig analysiert werden. Eine optionale Eingangsdruckregelung erhöht die Genauigkeit der Gasanalysen bei schwankenden Druckbedingungen.
Das Cirrus™ 3-XD bietet zudem eine erhöhte Nachweisgrenze, welche über die Grenzen der herkömmlichen Quadrupol-MS-Gasanalyse hinausreicht.
Das Cirrus 3-System mit seiner automatisierbaren Softwaresteuerung kann für verschiedenste Anwendungen, von industriellen Prozessen bis hin zu Forschungsaufgaben, optimiert und angepasst werden. Spezielle Softwaremodule für eine quantitative Analyse sind ebenfalls verfügbar.
Die Vorteile im Überblick
Hauptanwendungen der Cirrus 3/Cirrus 3-XD Systeme sind unter anderem
Spurengasanalyse im ppb-Bereich - ein Gerät, parallele Messung, permanent kalibriert
Messung von Spurengasen mit hoher Selektivität und Stabilität im ppb-Bereich, zur Überwachung von bspw. Kohlenwasserstoff-, Feuchtigkeit-, CO-, CO2- und N2O mehr
Anwendungen der Quadrupol-Massenspektrometrie für die Atomlagenabscheidung (ALD)
Anleitung für den Einsatz von Quadrupol-Massenspektrometrie (QMS)-Systemen zur ALD-Prozess- und Geräteoptimierung mehr
MultiGas TFS-Monitor – Mehr als nur herkömmliche Ansätze zur Spurengasanalyse
Das TFS wird speziell zur Überwachung von Verunreinigungen in Luftzerlegungsanlagen oder bei Brennstoffzellenanwendungen eingesetzt. mehr
MKS Instruments Deutschland GmbH
MKS Instruments ist ein weltweit führender Hersteller von Komponenten und Systemen für die Vakuumprozesstechnik. 40 Jahre Erfahrung, die Innovationskraft unserer Mitarbeiter und der enge Kontakt zu unseren Kunden haben dazu beigetragen, in diesem Markt eine Spitzenposition zu erobern. Anwen ... mehr
