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Der IE1000A ist das neueste Produkt der MKS Instruments Massenflussregler der I-Serie
Diese Massenflussregler sind Elastomer gedichtet und für den Einsatz in rauen Umgebungen mit Belastungen durch Flüssigkeit oder Staub ausgelegt. Also Anwendungen in denen das „Abspritzen“ des Gerätes notwendig sein kann, oder in industrielle Anlagen, die in einer nassen oder staubigen Umgebung betrieben werden. Durch die Zertifikation der Schutzklasse IP66 sind die Massenflußregler der I-Serie prädestiniert für den Einsatz in diesen rauen Umgebungen.
Der IE1000A ist für die Steuerung von Gasflüssen bis zu 1.000 slm (N2 Equivalent) ausgelegt. Schnelle Antworten auf Änderungen der Gasflusssolwerte mit einem minimalen Über-/Unterschwingen werden durch ein spezielles Regelventil und dem bekannten MKS Instruments Steuerungsalgorithmus erzielt. Auch erzielt das Regelventil im geschlossenen Zustand interne Leckraten, die weit unterhalb der vergleichbarer Wettbewerbsprodukte dieser Durchflussbereiche liegen.
Die Multi-Range/Multi-Gas Features und andere Einstellmöglichkeiten werden über das offen zugängliche Diagnostikinterface angesteuert. Ein Ethernet Kabel und ein Java fähiger Browser sind die einzigen benötigten Werkzeuge. Die relevanten Korrekturwerte für typische „high flow“ Gasarten sind bereits im Gerät hinterlegt. Die Einstellung des IE1000 ist einfach, so können die Gase über ein Drop Down Menü eingestellt und auch die zu wählenden maximalen Flußbereiche eingegeben werden. Über das Diagnoseinterface kann der Zustand des Gerätes getestet werden, Durchflüsse angezeigt und auch Betriebsdaten für eine offline Analyse gespeichert werden.
IE1000A – Industrieller Massenflußregler mit IP66 Qualifikation für Gasflüsse bis zu 1.000 slm (60m3/h)
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MKS Instruments Deutschland GmbH
MKS Instruments ist ein weltweit führender Hersteller von Komponenten und Systemen für die Vakuumprozesstechnik. 40 Jahre Erfahrung, die Innovationskraft unserer Mitarbeiter und der enge Kontakt zu unseren Kunden haben dazu beigetragen, in diesem Markt eine Spitzenposition zu erobern. Anwen ... mehr