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Stepper



Ein Stepper ist eine in der Halbleiterindustrie verwendete Anlage.

Der Stepper bringt mit Hilfe der Photolithografie mikrofeine Strukturen auf einen Wafer auf. Hierbei wird ähnlich wie bei einem Dia-Projektor eine Vorlage (Maske, engl. Reticle), von Licht durchschienen und auf eine lichtempfindliche Schicht (Photolack, engl. Resist) projiziert. Die Strukturen der Vorlage werden dabei stark verkleinert, so dass Linienbreiten bis hinunter auf 65 Nanometer und weniger erreicht werden. Ein Problem stellt besonders die erforderliche hohe Positioniergenauigkeit (Overlay) unter dem Linsensystem dar. Stepper verwenden Projektionsbelichtung, was bedeutet dass mehrere "Steps" pro Wafer nötig sind um diesen zu belichten, woraus sich der Name ableitet

 
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