Meine Merkliste
my.chemie.de  
Login  

Aspektverhältnis (Strukturierung)



Als Aspektverhältnis bezeichnet man in der Verfahrenstechnik das Verhältnis aus der Tiefe bzw. Höhe einer Struktur zu ihrer (kleinsten) lateralen Ausdehnung. Generell gilt: je größer das Aspektverhältnis, und je kleiner die absolute Größe der Struktur, desto schwieriger die Fertigung. Besondere Relevanz hat das Aspektverhältnis in der Mikrotechnologie.

Beispiele

  • Wird mit einem 6 mm-Bohrer ein 60 mm tiefes Loch gebohrt, so hat dieses Loch das Aspektverhältnis 10 (:1).
  • Wird in einem Ätzverfahren in einem Silizium-Wafer ein 40 Mikrometer breiter, beliebig langer und 100 Mikrometer tiefer Graben erzeugt, so hat dieser Graben das Aspektverhältnis 2,5 (:1). Solche Aspektverhältnisse größer als 1 erfordern den Einsatz von anisotropen Strukturierungsmethoden.
  • Mit naßchemischem Ätzen, das etwa in der Leiterplattenfertigung in der Elektronikindustrie in großem Umfang angewendet wird, lassen sich nur Strukturen mit Aspektverhältnissen kleiner als 1 herstellen. Leiterbahnen, die aus einer 50 Mikrometer dicken Kupferschicht durch Fotolithografie und naßchemisches Ätzen hergestellt werden sollen, müssen deshalb überall einen Abstand von mehr als 50 Mikrometer voneinander haben.
 
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Aspektverhältnis_(Strukturierung) aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar.
Ihr Bowser ist nicht aktuell. Microsoft Internet Explorer 6.0 unterstützt einige Funktionen auf Chemie.DE nicht.