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DIN EN ISO 14644



Die DIN EN ISO 14644 ist eine Norm für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche. Die Teile 1 und 2 der Norm lösen den alten US Federal Standard 209E ab. Dieser ist in den Jahren zuvor zum Ermitteln einer Reinraumklassifikation verwendet worden. Aus diesem Grund baut die ISO 14644 auf ihm auf, und die Reinraumklassifikationen sind mit denen des Federal Standard vergleichbar.

Reinraumklassen nach ISO 14644-1
  Partikel je m³
Klasse 0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 1,0 µm 5,0 µm
ISO 1 10 2        
ISO 2 100 24 10 4    
ISO 3 1.000 237 102 35 8  
ISO 4 10.000 2.370 1.020 352 83  
ISO 5 100.000 23.700 10.200 3.520 832 29
ISO 6 1.000.000 237.000 102.000 35.200 8.320 293
ISO 7       352.000 83.200 2.930
ISO 8       3.520.000 832.000 29.300
ISO 9       35.200.000 8.320.000 293.000
Reinraumklassen nach US FED STD 209E
  Partikel je m³
Klasse 0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 5,0 µm
1 1.236 247 106 35  
10 12.360 2.649 1.059 353  
100   26.486 10.594 3.531  
1.000       35.315 247
10.000       353.147 2.472
100.000       3.531.470 24.720
Hinweis:
US FED STD 209E ist seit dem 29. November 2001 nicht mehr gültig.[1]

Die Norm behandelt als Thema Reinräume für den Halbleiterbereich (Schutz des Produktes vor dem Menschen und Umweltbedingungen), sowie für Biologische Gefahrenstoffe (Schutz des Menschen und der Umwelt vor dem Produkt).

Liste der Teile der Norm:

  • Teil 1 Klassifizierung der Luftreinheit
  • Teil 2 Festlegungen zur Prüfung und Überwachung zum Nachweis der fortlaufenden Übereinstimmung mit ISO 14644-1
  • Teil 3 Prüfverfahren
  • Teil 4 Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme
  • Teil 5 Betrieb
  • Teil 6 Begriffe (Entwurf 2005)
  • Teil 7 SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments)
  • Teil 8 Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination (Entwurf 2004)

Einzelnachweise

  1. http://www.iest.org/publctns/fedstd209.htm
 
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel DIN_EN_ISO_14644 aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar.
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