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Flüssigkeitsphasenepitaxie



Flüssigkeitsphasenepitaxie beschreibt die Abscheidung aus einer Lösung. Das durch Keimbildung entstehende Kristallgitter orientiert sich an einer vorhandenen Unterlage. Dadurch können sehr dünne Schichten z. B. für Piezo-Werkstoffe gebildet werden.

 
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