Meine Merkliste
my.chemie.de  
Login  

Siliciumtetrafluorid



Strukturformel
Keine Strukturformel vorhanden
Allgemeines
Name Siliciumtetrafluorid
Andere Namen

Silicium(IV)-fluorid

Summenformel SiF4
CAS-Nummer 7783-61-1
Kurzbeschreibung farbloses Gas
Eigenschaften
Molare Masse 104,1 g/mol
Aggregatzustand gasförmig
Dichte 4,681 kg/m (0 °C)[1]
Schmelzpunkt −86,8 °C[2]
Siedepunkt −95,2 °C (Sublimation)[2]
Löslichkeit

gut löslich in Wasser (unter Zersetzung)[2]

Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung
[2]
R- und S-Sätze R: 23-35[2]
S: 9-26-36-45[2]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Siliciumtetrafluorid (SiF4), eine Siliciumverbindung, ist ein farbloses giftiges unbrennbares Gas. Es hat einen stechenden Geruch und ist bei Feuchtigkeit stark rauchend. Es wechselt beim Abkühlen durch Sublimation von der gasförmigen Phase direkt in die feste Phase. Das Gas ist ab einem Druck von 50 at verflüssigbar.

Weiteres empfehlenswertes Fachwissen

Inhaltsverzeichnis

Herstellung

Verfahren 1

Hergestellt wird es aus Calciumfluorid und Siliciumdioxid (Sand) mit konzentrierter Schwefelsäure. Folgende Reaktionen laufen ab: Umsetzung von Fluorit zur Fluorwasserstoff

\mathrm{H_2SO_4 + CaF_2 \rightarrow 2 \; HF + CaSO_4}

Der Fluorwasserstoff reagiert dann mit dem SiO2

\mathrm{4 \; HF + SiO_2 \rightarrow SiF_4 + 2 \; H_2O}

Unter Säureüberschuß wird die Hydrolysierung des SiF4 verhindert.

Das so erhaltene SiF4 ist allerdings nur 80 - 90 prozentig. Es enthält sauerstoffhaltige Produkte wie F3Si-O-SiF3 oder F3Si-O-SiF2-O-SiF3. Beim Transport von SiF4 in Pipelines zerfallen diese Moleküle in SiF4 und SiO2. Dabei setzt das SiO2 die Rohrleitungen zu. Die chemische Industrie hatte das Verfahren des Transportes von SiF4 in Pipelines anstelle der gefährlicheren HF entwickelt, um entferntere Produktionsstätten per Pipeline mit Fluoriden zu versorgen. Aufgrund der geschilderten Probleme fand dieses Verfahren jedoch keine Verbreitung.[3]

Verfahren 2

Beim Erhitzen von Bariumfluorosilikat entsteht SiF4:

\mathrm{Ba[SiF_6] \rightarrow BaF_2 + SiF_4}

Anwendungen

In der Halbleiterindustrie entsteht es beim Entfernen von SiO2 Schichten auf Wafern mittels Flusssäure.

Quellen und Literatur

  1. Eintrag zu Siliciumtetrafluorid in der GESTIS-Stoffdatenbank des BGIA, abgerufen am 17.10.2007 (JavaScript erforderlich)
  2. a b c d e f Sicherheitsdatenblatt (Air Liquide)
  3. W. Legat, Dissertation 1978, Giessen

Wiki/Weblinks

  • International Chemical Safety Cards: Siliciumtetrafluorid
 
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Siliciumtetrafluorid aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar.
Ihr Bowser ist nicht aktuell. Microsoft Internet Explorer 6.0 unterstützt einige Funktionen auf Chemie.DE nicht.