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Tetrakis(dimethylamino)titan



Strukturformel
Keine Strukturformel vorhanden
Allgemeines
Name Tetrakis(dimethylamino)titan
Andere Namen

TDMAT

Summenformel C8H24N4Ti
CAS-Nummer 3275-24-9
Eigenschaften
Molare Masse 224,1714 g/mol
Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung

R- und S-Sätze R: ?
S: ?
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine metallorganische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) eingesetzt wird.

 
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Tetrakis(dimethylamino)titan aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar.
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