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Tantalpentoxid



Strukturformel
Keine Strukturformel vorhanden
Allgemeines
Name Tantalpentoxid
Andere Namen
  • Tantaloxid
  • Tantal(V)-oxid
  • Ditantalpentaoxid
Summenformel Ta2O5
CAS-Nummer 1314-61-0
Kurzbeschreibung weißes geruchloses Pulver
Eigenschaften
Molare Masse 445,236 g·mol−1
Aggregatzustand fest
Dichte 8,2 g·cm−3
Schmelzpunkt 1872 °C
Siedepunkt ~2000 °C
Löslichkeit

schwer löslich in Wasser[1]

Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung
keine Gefahrensymbole
R- und S-Sätze R: keine R-Sätze
S: keine S-Sätze
LD50

8000 mg/kg

Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Tantalpentoxid ist ein optisch transparentes Material mit der Formel Ta2O5. Es bildet mit Säuren keine Salze und kommt in dem Mineral Columbit vor.

Eine wichtige Anwendung ist die optische Beschichtungstechnologie (PVD-Verfahren), wo es als hochbrechendes Material eingesetzt wird.

In der Halbleitertechnologie wird der Einsatz von Tantalpentoxid also sogenanntes High-k-Dielektrikum diskutiert und erprobt. Im Unterschied zum gewöhnlich verwendeten Siliciumdioxid (SiO2), das eine Dielektrizitätskonstante von 3,9 besitzt, beträgt die Dielektrizitätskonstante von Tantalpentoxid 26. Die Oxidabscheidung erfolgt mittels Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) oder Chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition, CVD). Bevorzugtes Basismaterial des Prozesses ist der flüchtige Tantalkomplex Pentakis(dimethylamino)tantal ( Ta[N(CH3)2]5 ), der über Tantalpentachlorid (TaCl5), einem wichtigem Zwischenprodukt in der Tantalherstellung, zugängig ist.

Der Brechungsindex von Tantalpentoxid beträgt als optische Dünnschicht bei 500 nm Wellenlänge je nach verwendetem Beschichtungsverfahren zwischen 2,1 bis 2,15 (Elektronenstrahlverdampfen) und etwa 2,2 (Ionenstrahlsputtern). Das Material ist von etwa 350 nm bis ungefähr 8 µm Wellenlänge transparent.

Siehe auch

  • Tantal-Elektrolytkondensator

Quellen

  1. Merck Chemdat
 
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Tantalpentoxid aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar.
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