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Hexamethyldisilazan



Strukturformel
Allgemeines
Name 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Andere Namen

Hexamethyldisilazan, HMDS

Summenformel C6H19NSi2
CAS-Nummer 999-97-3
Kurzbeschreibung farblose bis gelb gefärbte Flüssigkeit
Eigenschaften
Molare Masse 161,39 g·mol−1
Aggregatzustand flüssig
Dichte 0,7742 g·cm−3
Schmelzpunkt –82 °C
Siedepunkt 126 °C
Dampfdruck

2700 Pa (20 °C)

Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung
R- und S-Sätze R: ?
S: ?
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C6H19NSi2, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen.

In der organischen Chemie wird Hexamethyldisilazan u.a. zur Einführung von Trimethylsilyl-Gruppen verwendet. Im Vergleich zu Chlortrimethylsilan ist die Handhabung angenehmer, da Hexamethyldisilazan gegenüber Wasser bzw. Luftfeuchtigkeit recht unempfindlich ist. Außerdem kann auf den Zusatz einer Hilfsbase verzichtet werden, da bei der Silylierung lediglich Ammoniak als Nebenprodukt auftritt. Dafür muss meist eine höhere Reaktionstemperatur angewandt werden, was bei empfindlichen Substraten ein Nachteil sein kann.

Hexamethyldisilazan ist eine farblos bis gelb gefärbte Flüssigkeit mit aminartigem Geruch, die leicht entzündlich ist.

 
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