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Hafniumoxid



Strukturformel
Keine Strukturformel vorhanden
Allgemeines
Name Hafniumoxid
Andere Namen
  • Hafniumdioxid
  • Hafnium(IV)-oxid
Summenformel HfO2
CAS-Nummer 12055-23-1
Kurzbeschreibung hochbrechendes, weißes bis dunkelgraues kristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur
Eigenschaften
Molare Masse 210,49 g·mol-1
Aggregatzustand fest
Dichte 9,68 g·cm-3
Schmelzpunkt 2812 °C [1]
Siedepunkt 5400 °C [1]
Dampfdruck

gering [1]

Löslichkeit

unlöslich in Wasser [1]

Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung
keine Gefahrensymbole
[1]
R- und S-Sätze R: keine R-Sätze [1]
S: keine S-Sätze [1]
MAK

0,5 mg·m-3

WGK 0 (nicht wassergefährdend) [2]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Hafniumdioxid ist eine chemische Verbindung, die in der Halbleiterproduktion als High-k-Dielektrikum oder als Vergütungs- oder Spiegelmaterial in der optischen Industrie eingesetzt wird. Es besitzt eine hohe Härte, eine geringe Wärmeausdehnung und ist chemisch Zirkondioxid (ZrO2) sehr ähnlich.

Eigenschaften und Verwendung

Hafniumdioxid ist ein weißes bis dunkelgraues, kristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur, das einen sehr hohen Schmelz- und Siedepunkt, sowie eine Dichte von 9,68 g·cm-3 aufweist. Die Brechzahl beträgt 1,95 bis 2,00. Das Oxid ist praktisch unlöslich in Wasser und organischen Lösungsmitteln. Aufgrund seiner extrem hohen Dielektrizitätskonstante soll Hafniumdioxid bei der Produktion von Halbleiterbausteinen mit 45 nm-Struktur das bisher verwendete Siliciumdioxid ersetzen.[3]

Einzelnachweise

  1. a b c d e f g MSDS bei Alfa Aesar
  2. Merck Chemdat : Hafnium(IV)-oxid
  3. NZZ Online: (Noch) keine Grenzen für das Mooresche Gesetz, 23. Mai 2007
 
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Hafniumoxid aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar.
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