Verifiziert
Restgasanalysatoren: IonTamer ToF MS
IonTamer-Instrumente sind Flugzeit-Restgasanalysatoren (TOF-RGA) für die Analyse von Gasen
Vollständige quantitative chemische Analyse in Echtzeit bis zu zehnmal pro Sekunde
Direkte Integration in den Fertigungsprozess und Unterstützung der vollständigen Fernsteuerung
Simultane Aufzeichnung vollständiger Massenspektren mit hoher Auflösung (Massen 1200 u/e)
Kompakter Flugzeit-Restgasanalysator (TOF-RGA) für die Prozessanalyse
Die IonTamer-Instrumente messen kontinuierlich und liefern bis zu 10-mal pro Sekunde kalibrierte Massenspektren über den gesamten Massenbereich (1 - 1200 u/e). Die Daten werden über eine Ethernet-Schnittstelle an die Benutzersoftware von Spacetek Technology oder an das Prozesssteuerungssystem des Kunden weitergeleitet. Diese Eigenschaften eröffnen nie dagewesene Möglichkeiten zur Prozesssteuerung und zur Optimierung von Ausbeute und Zuverlässigkeit.
Als leistungsstarke Restgasanalysatoren detektieren und überwachen die IonTamer-Instrumente Verunreinigungen in Vakuumsystemen, die in der industriellen Produktion sowie in der Forschung und Entwicklung eingesetzt werden. Die Instrumente sichern die Produktion und erhöhen die Produktqualität, indem sie vorübergehende Abweichungen vom Sollwert erkennen. Durch die Identifizierung von Verunreinigungen erleichtern die IonTamer-Instrumente die Lokalisierung und Behebung von Störungen.
Alle in den IonTamer-Instrumenten verwendeten Materialien sind für Anwendungen in anspruchsvollen Industrien, wie z.B. der Halbleiterindustrie, zugelassen.
Technische Daten
1
IonTamer PS
2
IonTamer FA
3
IonTamer DI
Produkteinordnung
Anwendungen
Produktkategorien
Zielbranchen
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