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MKS Instruments ist ein weltweit führender Hersteller von Komponenten und Systemen für die Vakuumprozesstechnik. 40 Jahre Erfahrung, die Innovationskraft unserer Mitarbeiter und der enge Kontakt zu unseren Kunden haben dazu beigetragen, in diesem Markt eine Spitzenposition zu erobern. Anwender aus Industrie und Forschung schätzen unsere Produkte wegen ihrer ausgeprochen hohen Qualität.
Kein anderer Hersteller bietet Ihnen ein so umfassendes Produktspektrum. Unsere Geräte sind weltweit für ihre Präzision, Stabilität und die Reproduzierbarkeit der Messdaten bekannt. Wir liefern Komponenten zur Massenflussregelung, Druckmessung und Druckregelung, modulare Einheiten für die Gasversorgung, Vakuumverrohrungen (speziell für die Anforderungen in der Halbleiterindustrie), sowie Systeme zur Prozessüberwachung.
Im Bereich Light & Motion bündelt MKS Instruments die Produkte und Lösungen der Marken Newport, Spectra-Physics und Ophir. Das Produktspektrum für die Anwendung photonischer Technologien reicht von Lasern und Lichtquellen, über Optiken, Optomechaniken sowie optische Tische und Systeme zur Vibrationsisolierung bis hin zur Laserleistungsmessung und Strahlcharakterisierung. Hochpräzise manuelle und motorisierte Positionierer und Motionsysteme runden das Angebot ab.
Gasanalyse an der Nachweisgrenze
Ein Quadrupol-Massenspektrometer (QMS) mit neuartiger Technologie für niedrigste Detektionsgrenzen in der Gasanalyse bis zu 300°C mehr
Spurengasanalyse im ppb-Bereich - ein Gerät, parallele Messung, permanent kalibriert
Messung von Spurengasen mit hoher Selektivität und Stabilität im ppb-Bereich, zur Überwachung von bspw. Kohlenwasserstoff-, Feuchtigkeit-, CO-, CO2- und N2O mehr
Anwendungen der Quadrupol-Massenspektrometrie für die Atomlagenabscheidung (ALD)
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MultiGas TFS-Monitor – Mehr als nur herkömmliche Ansätze zur Spurengasanalyse
Das TFS wird speziell zur Überwachung von Verunreinigungen in Luftzerlegungsanlagen oder bei Brennstoffzellenanwendungen eingesetzt. mehr
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