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CVD-Silizium-Beschichtung von Oberflächen gegen Adsorptionseffekte und Kohlenstoffablagerungen

Werkstoff-Beschichtung mit amorphem Si für Anwendungen in Analytik, Petrochemie oder Automobilindustrie

28.01.2013

Die CVD-Beschichtung von Werkstoffen mit amorphem Silizium bietet für zahlreiche Problemstellungen in der Analytik, Petrochemie, Automobilindustrie oder Halbleiterindustrie eine wirtschaftliche und nachhaltige Lösung. Herkömmliche Edelstähle werden z

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