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Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS)

Winterbergstraße 28
01277 Dresden
Deutschland
Tel.
+493512583324
Fax
+493512583300

www.iws.fhg.de
www.iws.fraunhofer.de/

Kurzprofil

Das Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik betreibt mit ca. 150 Mitarbeitern anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung auf den Gebieten der Laser- und Oberflächentechnik. Seit 1995 wird am IWS intensiv die Technologie- und Methodenentwicklung zur in-situ-Charakterisierung von Gasatmosphären industrieller Prozesse verfolgt. Im Mittelpunkt stehen dabei die Aufklärung und Optimierung von Schichtabscheidungsprozessen mittels Chemical Vapour Deposition (CVD) sowie die Spurengasanalytik bis in den ppb-Bereich. Dazu werden optische Messtechniken wie Diodenlaser-Spektroskopie oder FTIR-Spektroskopie im NIR und MIR-Bereich eingesetzt.

Mehr über Fraunhofer-Institut IWS
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