Poly-Parylen - Werkstoff der Zukunft?
BMBF fördert Projekt der FH München und des Unternehmens Plasma Parylene Coating Services (PPCS) zur Entwicklung einer Beschichtungsanlage
Die Anforderungen insbesondere im medizinischen Bereich werden dabei immer höher. Die diesem Projekt zugrundeliegende Herausforderung ist eine Erhöhung der Durchschlagsfestigkeit, um das gleiche Isolationsverhalten bei geringerer Filmdicke zu erzielen, was insbesondere für die Erhöhung der Präzision in der Gehirnchirurgie von Bedeutung ist. Aber auch im Halbleiterbereich werden Verbesserungen für Dielektrika möglich.
Dazu soll das von der Firma PPCS in Rosenheim entwickelte Verfahren der chemischen Dampfabscheidung durch Entwicklung eines plasmaunterstützten, reaktiven Abscheideverfahren während des vom BMBF geförderten, zwei Jahre dauernden Projekts erweitert und möglicherweise ersetzt werden. Die Abscheidebedingungen werden variiert und mittels Plasmadiagnostik genau kontrolliert. Das Team besteht aus zwei Studenten, die ihre Abschlussarbeiten im Rahmen des Masterstudiums der Mikro- und Nanotechnik durchführen, einem Diplomingenieur sowie mehreren fortgeschrittenen Studenten, die hier ihre Semesterarbeit absolvieren. Geleitet wird das Projekt von den Professoren Stefan Sotier, dessen Domäne die Oberflächentechnologie und Vakuumphysik ist, und Gerhard Franz, der seinen Forschungsschwerpunkt in der Physik der Niedertemperaturplasmen hat.
Da für den medizinischen Bereich die Anforderungen sehr hoch sind, sind als Spin-off dieser Prozess-/Produktentwicklung Ergebnisse im "Low-tech"-Bereich denkbar und wahrscheinlich: z. B. zur Verwendung als fettabweisende Beschichtung im Bereich der Textilfasertechnologie, der Papierveredelung oder von Gebrauchsgegenständen.
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