Solvay Fluor: Verdopplung der Kapazität für Hexafluorbutadien
27.04.2006
Unter dem Handelsnamen Sifren® vermarktet Solvay Fluor weltweit die Fluorverbindung Hexafluorbutadien (C4F6). Das druckverflüssigte Gas wird zur Chip-Ätzung nach dem neuestem Stand der Technik eingesetzt. Es ermöglicht extrem scharfe Schnitte mit sehr kleiner Weite auf Silizium-Wafern.
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