Multimodale Analyse von 2D-Materialien mit dem XPS-SEM CISA Workflow
CISA Workflow für die kombinierte XPS-SEM-Charakterisierung
Der Thermo Scientific CISA (Correlative Imaging and Surface Analysis) Workflow wurde verwendet, um die auf einer Siliziumoxidoberfläche abgeschiedenen MoS2 2D-Kristalle zu analysieren. CISA kombiniert Rasterelektronenmikroskopie (REM/SEM) und Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) in einem einzigen korrelierten und zeiteffizienten Workflow, der nicht nur Bildgebung und Oberflächenanalyse ermöglicht, sondern auch ergänzende Methoden wie Raman-Spektroskopie einbeziehen kann.
In dieser Fallstudie wurden das Nexsa G2 Oberflächenanalysesystem und das Axia ChemiSEM verwendet. Die kombinierte Anwendung von XPS, Raman und SEM im CISA-Workflow ermöglichte sowohl hochauflösende Bildgebung als auch die chemische Identifizierung der Probenoberfläche an identischen zu untersuchenden Bereichen (ROI’s).
Als Ergebnis konnten sowohl die Oberflächenchemie als auch die Struktur von MoS2 auf Siliziumoxid eindeutig bestimmt werden. Es wurde auch gezeigt, dass sowohl MoS2 als auch MoO3 vorhanden sind und dass die Anzahl der Schichten in verschiedenen Bereichen der Oberfläche variiert.
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